氦质谱检漏仪测量数据处理
漏率的温度修正
标准漏孔漏率易受温度变化影响,温度对标准漏孔漏率的影响一般为3%/℃ ,所以如果实际环境温度和标准漏孔证书中温度不一致,需要将标准漏孔证书中漏率和标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值修正至同一环境温度下来计算,并在测试结果中加以说明,修正方法如下:
方法一: 将标准漏孔证书中的漏率修正至实际环境温度下,用标准漏孔证书中的漏率加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值;
方法二: 将标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值平均值修正至标准漏孔证书中环境温度下,用标准漏孔漏率的氦质谱检漏仪示值平均值加上或减去温度对标准漏孔漏率的影响系数计算值。
氦质谱检漏仪的原理
氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以一定能量注入质分析器,
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
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氦质谱检漏仪光无源器件检漏
光无源器件是不含光能源的光能器件的总称。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后,由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的氦气分压力信号值。光无源器件在光路中都要消耗能量,插入损耗是其主要性能指标。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。本文主要介绍氦质谱检漏仪在无源器件中的检漏应用。
光无源器件是不含光能源的光功能器件的总称。3)航天工业中、各类阀门、电子元器件,传感器等等都在广泛应用氦质谱检漏仪及其检漏技术。光无源器件在光路中都要消耗能量,插入损耗是其主要性能指标。光无源器件有光纤连接器、光开关、光衰减器、光纤耦合器、波分复用器、光调制器、光滤波器、光隔离器、光环行器等。它们在光路中分别实现连接、能量衰减、反向隔离、分路或合路、信号调制、滤波等功能。本文主要介绍氦质谱检漏仪在无源器件中的检漏应用。
无源器件检漏原因:光无源器件是光纤通信设备的重要组成部分,也是其它光纤应用领域不可缺少的元器件。光无源器件对密封性的要求极高,如果存在泄漏会影响其使用性能和精度,光通信行业的漏率标准是小于5×10-8mbar。具有高回波损耗、低插入损耗、高可靠性等特点。光无源器件对密封性的要求极高,如果存在泄漏会影响其使用性能和精度,光通信行业的漏率标准是小于 5×10-8 mbar.l/s,因此需要进行泄漏检测。氦质谱检漏法利用氦气作为示踪气体可准确定位,定量漏点,替代传统泡沫检漏和压差检漏,目前已广泛应用于光无源器件的检漏。
真空箱氦检漏及回收系统在汽车空调的应用二
汽车空调两器检测要求
1.1 空调两器实际工况
1.空调两器工作介质:氟利昂或者碳氢化合物作为制冷剂工作于汽车空调内部,目前比较流行使用R134a作为汽车空调的制冷剂。
2.压力范围:不同规格的空调两器工作范围在2.0~3.5MPa之间,正常工作压力在0.8~2.0MPa之间。注:特殊情况除外。
3.气密性要求:对于两器产品,充注一定压力R134a制冷剂,泄露量小于2克/年。
4. 耐压要求:对产品加压到实验压力,保压一段时间,降到常压,经检查无泄漏和异常变形。
1.2 空调两器氦检漏基本要求
1.耐压测试要求:一般两器在执行氦检漏之前会充注一定压力(一般不超过3.5MPa)的高纯氮气或者干燥的压缩空气,对工件作耐压测试,如果不出现明显变形及大漏,再执行氦检测工艺。
2.氦检测精度要求:由于不同生产企业对产品的检测要求不尽相同,但一般都会遵循行业标准,或比行业标准要求稍高。通常“两器”检测标准不会超过1克/年。
3.检测节拍要求:据调查一般的两器生产厂家年产量都会在十万只以上,要实现所有产品全部使用氦检测,就要求氦检测节拍越快越好。中科科美生产的氦检系统,针对冷凝器检漏节拍在40秒/件,针对蒸发器检漏可达20秒每件;
4.氦气回收要求:氦检漏系统使用氦气作为示踪气体,由于氦气比较贵重,如果直接排放,必然导致检测成本的大幅增加。因此,一般厂家都会要求氦气可回收,即循环利用。氦检系统,氦气回收率可达95%以上。
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